《表1 四种不同的LED结构》
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之后沉积Cr/Au作为n型接触电极，如图1(e）.最后，去除粘结剂，即可得到单个LED器件，如图1(f）.为了更好地对比分析，用同样的外延片结构制备了传统的蓝宝石衬底LED和不同尺寸的ASV-LED，详细结构如表1.
| 图表编号 | XD00192643300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.12.01 |
| 作者 | 苏旭良、王灿、应磊莹、徐欢、许荣彬、梅洋、郑志威、龙浩、张保平 |
| 绘制单位 | 厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系、厦门大学电子科学与技术学院电子工程系 |
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