《表1 5×5点阵光强测量结果》

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《新型5×5分束达曼光栅的设计与制作》

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所研制的达曼光栅器件的远场光学响应及多分束品质的评测采用如图7所示的方案。工作波长为780 nm，经过准直透镜L1形成平面波，从达曼光栅C输出的衍射光经过聚焦透镜L2在焦平面上成像，并通过计算机将CCD摄像机采集到的信号处理为衍射点阵，即5×5分束达曼光栅点阵图（图7 （a）） ，CCD采集到的信号基本上只有零级衍射，且光强均匀分布。表1为5×5点阵光强（I）测量结果（i为点阵各行中点的位置，j为点阵各列中点的位置），达曼光栅总的衍射效率为53%，不均匀性仅为0.19%。同比刻蚀深度为1 100 nm的远场衍射结果如图7（c）所示，虽然高级衍射场也得到很好的抑制，但中间表现为一个亮斑，即出现会聚点光强饱和现象，而图7（b）则没有。上述实验结果充分说明了通过合理调控曝光时间、显影时间及刻蚀深度，能制备出较好多分束达曼光栅二元光学器件，且工艺方法可进一步推广。