《表1 各样品中颗粒的质量》

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《空封光电耦合器内部多余物颗粒PIND检出概率研究》

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单位：g

选取陶瓷颗粒、导电胶颗粒和短金丝三种典型颗粒进行研究，考虑到实际器件内的颗粒可能存在于区域Ⅰ或区域Ⅱ中，因此制作了各类型颗粒分别处于两个区域中的样品，每只样品中放入一个颗粒，所用颗粒的质量见表1。