《表2 常用X射线聚焦元件分类与重要参数汇总》

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《纳米计算机断层扫描成像技术进展综述》

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图5（a）～(c）分别为可见光显微镜成像原理图、软X射线显微镜成像原理图以及硬X射线显微镜成像原理图。基于X射线放大技术实现的纳米CT成像是指利用X射线元件搭建X射线显微镜，实现X射线的显微放大，从而得到纳米级分辨率的图像，如图5 (b）和图5(c）所示。X射线是光的一种，其波段范围是0.001～10nm，按照光学的衍射极限公式，X射线光学显微镜理论上的极限分辨率至少应在0.001nm量级，而目前纳米CT成像的分辨率仅能突破10nm，X射线在纳米成像检测领域仍有巨大的发展潜力。实现X射线显微镜系统的关键在于X射线调制元件的研制，表2汇总了当前大多数X射线元件及其重要参数。