《表3 分层补偿系数表：多维色谱技术检测电子气SF_6中10种痕量杂质的研究》

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《多维色谱技术检测电子气SF_6中10种痕量杂质的研究》

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GM592型气相色谱仪的气路设置为4阀4柱:预柱1、柱1与阀1、阀4构成分析系统1，可进行反吹操作；预柱2、柱2与阀2、阀3、阀4构成分析系统2，可进行反吹和中心切割操作。本文通过对各个阀门的高低位状态切换，实现对六氟化硫电子气中多个痕量杂质的分析。具体阀门的状态及其功能见表3。