《表2 准确度试验：气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中痕量三氟化氮》

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《气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中痕量三氟化氮》

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在本单位周围采集样品5份，按照本方法条件进行分析，所得样本中NF3均未检出，说明该区域NF3含量低于0.01μmol·mol-1。在某半导体工厂不同区域采集空气样品10份，测得环境中NF3的浓度在0～1.2μmol·mol-1之间，虽然低于工作场所中允许的最高浓度为10μmol·mol-1，但仍存在排放风险，值得进一步关注。