《表2 实验设计方案:微细电极形状损耗分类预测及控形方法分析》

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《微细电极形状损耗分类预测及控形方法分析》


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为验证上述模型的可靠性和方法的通用性,分别设计了Cu电极、W电极的验证实验。具体参数见表2,其余加工参数见表1,得到的实验结果见图4。