《表1 Hmax及Kmax随Kn的相对变化率》

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《基于DSMC方法的涡轮分子泵跨流态抽气性能研究》

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结果表明:随着Kn逐渐变小，Hmax变化率先上升，后下降；Kmax变化率逐渐下降．对于Hmax:在分子流态下（Kn>10），涡轮叶列速度的提升对抽气效率的提升程度基本不变，增加叶列速度可以稳定地提升抽气效率；在过渡流态下（0.1