《表技术指标和系统实测数据对比表》
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经过调试，本系统主要技术指标能满足研发要求。下表所示是本系统要求的技术指标与系统所能达到的数据的对比。
| 图表编号 | XD00184239700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.11.05 |
| 作者 | 孟丽红、王辉、魏智才、董银杏、叶飞 |
| 绘制单位 | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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