《表1 有限元模型所需材料参数》

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《MoSi_2涂层残余应力和结合强度的有限元分析》

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使用四节点平面应变减缩积分单元（CPE4R）对模型进行网格划分，单元尺寸在涂层/基体界面附近以梯度的方式逐渐减小，因为在涂层/基体界面处容易出现应力集中现象，需要对界面处的网格进行细化。在涂层和基体厚度的边缘附近也引入细网格。为了提高有限元模拟结果的准确性，对网格进行细化，直到模拟结果只发生微小的变化为止。有限元模型所需的具体材料参数如表1所示[16-18]。