《表3 PI工序对柱状隔垫物高度的影响》

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《基于彩色滤光片柱状隔垫物高度的液晶滴下工艺》


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为进一步研究聚酰亚胺涂覆工序柱状隔垫物高度降低原因,对比了聚酰亚胺涂覆前及未进行聚酰亚胺涂覆但进行加热固化工序(Skip PI)的柱状隔垫物高度,测试数据如表3所示。