《表1 RSAL方案成品率与文献[8]方案实验比较结果 (不考虑TSVs成品率)》

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《相邻层冗余共享的三维存储器成品率优化方法》


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以上表1和表2中三维存储器的成品率只考虑了存储单元的成品率,未考虑TSVs成品率.若将TSVs成品率考虑进去,三维存储器的成品率Ystack可由式(7)来计算: