《表2 硫酸铜电解液体系组分》

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《基于电沉积的波导组合精密修复技术研究》

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电沉积铜溶液配方选用应力较小的硫酸铜盐体系。它成分相对简单、稳定，易于维护，可采用较高的电流密度提高电沉积速度，优化的组分见表2。在溶液中添加少量的乙基己基磺酸钠作为湿润剂，以减少表面析出气体吸附产生的气孔，得到表面良好的沉积层。