《表4 C、D组数据统计：功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析》

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《功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析》

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从A组数据看出，化料过程埚位若一直固定于零埚位，坩埚内固态硅料在融化一定量是直接发生坍塌，发生溅硅的几率为11.4%，由于溅硅易对硅料纯度造成影响，且损害石墨件，其生产良率为70.2%，平均化料时间为8.3h；B组数据，化料过程随着高温区域的固态硅逐步融化为液态，埚位逐步随之上升，始终保持熔硅部分保持在高温区，使融化速率保持恒定而均匀，化料时长明显缩短，平均7.6h，溅硅率3.3%，生产良率72.3%；C、D不同埚转实验条件的具体数据如表4。