《表1 实验一工艺条件(CZ法)》

《表1 实验一工艺条件(CZ法)》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《功率和埚转对直拉单晶硅漏硅事故率的影响及分析》


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A组和B组作为实验一,具体实验工艺条件见表1。