《表4 不同颗粒物的元素组成及分布表》

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《清洁度检测标准ISO 16232中SEM/EDX分析方法解读与应用》

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按ISO 16232:2018标准要求精心进行颗粒物提取、过滤，准备好分析滤膜，滤膜直径为47mm。扫描电镜型号为TESCAN MIRA3，X射线能谱仪的型号为Oxford X-Max，采用Oxford INCA Feature系统对颗粒物进行检测和分析。扫描电镜的加速电压20kV，工作距离15mm，放大倍数400×，束流（吸收电流）2.0nA，第一次快速扫描，单个扫描区为0.5mm×0.5mm，总扫描区域为2mm×3mm，含24个扫描区，根据扫描结果设置合适的阀值，共识别出要分析的467个颗粒物；第二次慢速扫描识别出的颗粒物，根据自定义不同颗粒物的元素含量，将颗粒物分成黑色金属、有色金属、氧化物和无分类共4类，其中黑色金属颗粒物数量最多，达380个，占颗粒物总数的81.4%，有色金属颗粒物45个，氧化物颗粒物20个，无分类颗粒物22个。颗粒物尺寸分布方面，共含A级～E级共5个等级，其中B级颗粒物（5μm～15μm）的数量最多，达200个，占颗粒物总数的42.8%。颗粒物元素组成及尺寸分布详细结果见表4。