《表2 样品的光学性能实测结果和消光系数计算结果》
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《低损耗Al_2O_3薄膜离子束溅射法制备与性能研究》
由表2可知，通过优化离子束溅射时氧气流量等工艺参数，可以获得消光系数优于5×10-6的Al2O3薄膜，这为Al2O3薄膜的应用奠定了坚实的基础。
| 图表编号 | XD00156288900 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.08.10 |
| 作者 | 李钱陶、李定、熊长新 |
| 绘制单位 | 华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心、华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心、华中光电技术研究所—武汉光电国家研究中心 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
