《表6 Cu元素存在形式与对应原子所占比例》

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《金属材料对SF_6火花放电分解产物生成特性的影响》

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3）不同金属材料影响下，固体产物中原子数摩尔比r（Al/W）>r（Cu/W）>r（Fe/W），表明金属材料参与SF6火花放电过程时，Al与SF6反应的程度最大。通过对3种金属材料下的固体产物进行XPS分析可知，Fe的存在形式是Fe F3、Fe2O3、Fe S和Fe单质，其中Fe F3中的Fe原子占总原子数的80%；Al主要以AlF3和Al2O3的形式存在，AlF3占总原子数的65.3%；Cu主要以Cu F2和Cu O的形式存在，两者在总原子数中的比重十分接近。