《表2 配向机异物传感器光信号灵敏度》

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《摩擦配向工艺原材不良拦截方法的研究》

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然后介绍摩擦配向机的异物传感器安装调试安装实验。在摩擦辊左侧安装发射器，右侧安装反射镜（如图3所示）。同样地，无障碍物时光信号的灵敏度为8000。准备0.3mm、0.4mm、0.5mm障碍物，放置于玻璃基板上。进行多次基板流片实验。结果如表2，根据实验结果当障碍物小于0.5mm时，异物传感器接收的光信号灵敏度为8000，无法检出此种尺寸的障碍物。当尺寸大于0.5mm时，可以有效检出。统计0.5mm样品下的灵敏度结果，最大值为6380。此数值即为有障碍物时的灵敏度基准值。如生产过程中灵敏度数值小于6380，则判定基板携带异物。得出清洗机的最小检出尺寸为0.5mm的异物，光信号灵敏度为6380。