《表1 清洗机异物传感器光信号灵敏度》

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《摩擦配向工艺原材不良拦截方法的研究》

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首先介绍清洗机的调试安装。由于清洗机利用传输轮运送玻璃基板，所以传感器需固定在传输轮两端的铝型材上（图2）。发射器安装于左侧，反射镜安装于右侧。此实验基于传感器光信号灵敏度进行调节。发射器发出光信号，反射镜可以接收到光线，并将其返回至接收器。此时接收光信号的灵敏度为8000。这个数值为无障碍物时光信号灵敏度，即为正常情况下的灵敏度标准。然后制作两个高度分别为0.3mm、0.4mm、0.5mm的障碍物，放置于玻璃基板上。进行多次基板流片实验，找寻有障碍物时的灵敏度基准（如表1所示）。