《表2 AES成分测试结果》

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《ENIG焊盘上锡不良的非典型失效机理》

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单位：at%

焊盘上锡不良区测试位置的形貌图如图5所示，AES能谱图如图6所示，不同深度的成分原子百分比如表2所示。测试结果清晰表明，上锡不良区表面金层未完全溶解，Ni元素扩散进入金层，ENIG表面金层已经变为金/镍固溶体。