《表2 同一款芯片在相同波段不同机台下亮度比较(同等电压下测电流)》
下面将单激光焦点和双激光焦点切后的芯片亮度进行比较。以一次切割产生一道切痕并切割两次作为比较基准,由表2得知同一款芯片在不同的机台下的2种切割方式的亮度差异值<1%,非常接近,这是由于双切痕的激光功率与单切痕的一样,只是使用了双焦点的聚焦镜进行分光。从表2中可以看出使用聚焦镜分光成两个焦点可以提高加工效率而不影响切割效果。
图表编号 | XD00149350300 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.04.20 |
作者 | 郑佳晶、高爱梅 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所、中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |