《表1 菲涅尔透镜焦距随Δz变化》

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《基于空间光调制器的飞秒激光深微孔加工方法》

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在焦深范围内，光斑半径和能量分布基本保持一致，因此以小于焦深大小的某一尺寸作为步进间隔均可用于加工，通过对其焦深尺寸判断，Δz取值间隔小于200μm即可，为了方便操作本实验中将步进间隔设置为100μm.以±2 mm为例，通过计算得出不同Δz情况下，所需添加的菲涅尔透镜的焦距f如表1所示，对应的菲涅尔透镜相位分布如图3所示，图4为当未加载相位图和加载f=-22.8 m的菲涅尔相位图时其焦点截面处沿x或y轴向的光强分布，可以发现其光强分布基本保持一致.