《表1 几种光学元件残余应力无损测量方法对比》

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《光学元件残余应力无损检测技术概述》

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综合来看，基于应变测量和基于应力双折射测量光学元件残余应力的方法使用不同的仪器设备，适用不同材料和应用需求，具有不同的检测精度、空间分辨率等特性。由于基于不同的力学模型，因此无法直接对比不同方法测量的残余应力值。但在实际应用中，残余应力的相对大小更具有现实意义，可以反映不同工艺流程中残余应力的变化，不同方法之间又具有了可比性。表1对比了几种光学元件残余应力测量方法的适用范围、测量精度、空间分辨率等信息。