《表1 瓷件沾污区域的元素组成》

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《高密度陶瓷封装外壳电镀涨金问题分析与解决》

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采用JEOL JSM-5900扫描电镜（SEM）附带的能谱仪（EDS）分析沾污处的成分，结果见图6和表1。沾污区域的主要成分为C、O、Al、Si，其中Al和Si是陶瓷本身的成分，即沾污的主要元素组成为C或C和O。由表1可以看出，沾污程度较轻的区域（图6中区域4、5和6）中C的质量分数为2.92%～4.32%，这部分沾污应该采用常规清洗方法就可去除。但沾污严重区域（图6中区域1、2和3）中C的质量分数达24.66%～36.77%，采用常规清洗方法难以去除。