《表1 不同清洗技术的清洗效率和相关参数》

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《微小尺寸器件的CO_2雪清洗》

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注最好的结果标记为绿色，最差的结果标记为红色。实验没有考虑超声波清洗的批处理能力。使用较大的CO2喷射泵和较低等级的CO2可能会在不影响清洗效率的情况下显著降低运行成本。

与超声波清洗和高速空气喷射相比，CO2雪清洗对几乎每种类型的污染物颗粒都表现出最佳的清洗效果（见图11）。没有一种清洗过程对任何器件造成不可逆的损害。表1列出了有关清洗效率，时间和实验成本的数据。CO2雪地清洗的购置成本包括清洗装置（约2000欧元）和样品装备（约1000欧元）。