《表3 酸抛与碱抛批量电池4组数据对比》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《板式pecvd制备氧化铝工艺研究》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

表3为酸抛与碱抛工艺制作电池的批量4组数据，其中，背钝化工艺及背激光工艺均使用上述工艺调优中的最佳方案，由数据看出，使用碱抛工艺的背钝化Voc较酸抛高2mV，说明碱抛背表面较好的平整度钝化效果更好[7]，同时，Jsc碱抛相比酸抛高0.16mA/cm2，其中原因主要为碱抛大绒面结构对长波段入射光利用率高[3]。碱抛组填充因子高0.2，较好背面平整度，硅铝合金处的空洞较少，金属接触性更好，有利于载流子的导出。