《表1:原材料SOI的主要物理性能参数》
根据经验,可动膜片的轮廓可根据需要设计成正方形、长方形及圆形,由于正方形可动膜片有利于提高传感器的输出灵敏度[8],因此本文将可动膜片设计成正方形,如图2所示。
图表编号 | XD00131074500 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.01.15 |
作者 | 王尊敬\t、李闯、涂孝军、路翼畅 |
绘制单位 | 苏州长风航空电子有限公司传感器事业部、苏州长风航空电子有限公司传感器事业部、苏州长风航空电子有限公司传感器事业部、苏州长风航空电子有限公司传感器事业部 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |