《表2 工作电压对标定结果的影响》

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《透射-电子背散射衍射技术表征双相钢中马氏体-奥氏体岛的相结构及晶粒取向》

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扫描电子显微镜的工作电压常用的有20kV和30kV，通过使用标准样品比对实验，分别进行EBSD标定，并对实验数据结果的平均角度偏差值（MAD）和总标定率进行统计分析。通常来说，MAD值越小，表明测量角度与实际角度值之间的差值越小，标定结果越准确；总标定率越高，表明能够标定的点越多，无法识别的点越少，实验结果越可靠。实验结果如表2所示。通过对比发现，不论是MAD值还是总标定率，30kV工作电压时的实验结果都要优于20kV的结果。