《表3 L27(313)正交表实验安排及仿真结果》

《表3 L27(313)正交表实验安排及仿真结果》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《可延展电子通用金属互连结构电学特性分析》


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为了能比较全面地研究通用互连结构的几何参数、形变以及频率对交流电感的影响,文章利用更简单、直观的正交试验方法。将互连结构中基本的几何参数(水平线段H、半径R、角度A与斜线段T、铜导线的厚度tCu)、拉伸率(Elongation)以及频率f作为探究因素。各因素水平数为3,探究因素为7,如表2所示。不考虑因素间的交互作用,服从正交表列数大于因素个数的选取规则,选用L27(313)正交表,其中第1至第7列用于放置探讨的7个影响因素;而第8至第12列为空白列,将所有的空白列作为误差所在列,最后一列为试验指标,填放仿真试验结果,即通用互连导线交流电感ACL,试验数据如表3所示。