《表1 SF6气体流注放电涉及的化学反应式》

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《棒极外形对SF_6棒-板短间隙流注放电特性的影响》

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通过BOLSIG+软件可以求解得到弹性碰撞、电离的反应速率以及吸附反应速率（序号1～7）如表1所示，其中反应速率常数单位为m3·s-1，Δε表示反应能量损耗，单位为e V。