《表1 量程为10000mL/min MFC1和1000 m L/min MFC1的流量测定数据》

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《气体稀释装置检测方法初探》

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本实验采用的气体稀释装置是由2个质量流量控制器（MFC）组成，流量控制准确度为1%FS，流量控制重复性为0.5%FS。为验证这些参数的可靠性，通过气体活塞式流量计对质量流量控制器进行测试，结果见表1和图1、图2。