《表1 放电间距对应的折合电场强度及平均电子能量》

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《O_2介质阻挡放电微等离子体制备O_3》

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综合分析，放电间距的减小将导致放电空间O2分子数减少，同时将增加放电空间的E/N，而此时O3浓度不断增加，这说明折合电场强度增加对O3生成的促进作用远高于O2分子数减少对O3生成的抑制作用，因而O3浓度随放电间距的减小而增大。但是分子数过少会造成能量产率降低，因此为同时获得较高的臭氧浓度及能量产率，适宜的放电间距为0.75 mm。