《表1 1号压痕(物镜NA0.55，数据点数1024×1024)》

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《激光扫描共聚焦显微镜在微小硬度压痕测量中的应用研究》

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按照上述测试方法，对钢制的硬度块上不同试验力产生的硬度压痕进行了测量，取其中的三个压痕为例，整理得到硬度压痕的测量数据，并计算标准差等参数用来评定测量结果的重复性，相关试验结果如表1、表2、表3所示。