《表2 不同掺氧含量的TaOx的元素比例》

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《TaO_x中掺氧量对TaO_x/WO_x电致变色性能的影响》

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表2为能谱仪（Energy Dispersive Spectrometer，EDS）探测器测出的TaOx薄膜的元素分析图，表中数据为剔除杂质元素影响后的数据结果，从表2可以明显的观测出当掺氧含量较低时薄膜中元素Ta以及元素O的比例相对较小略高于1∶2这个范围，当掺氧含量为15%及以上时，薄膜中元素Ta以及元素O的比例趋于1∶2.5的数量级，表明所制备出的薄膜的主要物质为标准的Ta2O5.