《表1 MSBCZ玻璃的化学组成(质量分数)》

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《MgO-SiO_2-BaO-CaO-ZrO_2/Al_2O_3基LTCC材料性能研究》


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选用高强度的微晶玻璃MSBCZ作为助烧剂,其化学组成如表1所示,所有原材料均为分析纯,其中CaO和BaO分别由分析纯CaCO3和BaCO3引入。称取原材料(精确到0.01 g),混合均匀后置于铂金坩埚中,在1450℃的硅钼电炉中熔化保温2h,将熔融澄清的熔融体水淬为玻璃,置于球磨罐中球磨12 h,制成粒径D50为3.0μm的玻璃粉末。将玻璃粉末与高纯Al2O3粉(D50=3.0μm)按质量比(玻璃∶氧化铝)分别为45∶55,50∶50和55∶45进行称量,粉料经行星球磨机湿式混合3 h至粒径D50为1.5μm,烘干后过筛,加入质量分数10%PVA溶液(PVA固含量为1.5%)进行造粒,用油压机将其压制成两种尺寸:12 mm×6 mm的圆柱(用于测试介电性能)和41 mm×5 mm×4 mm的长条(用于测试抗弯强度),然后在空气气氛中经860,880,900,920℃烧结(保温1 h)得到样品。