《表1 CCD参数:用于镜片疵病检测的双路双远心光学系统设计》

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《用于镜片疵病检测的双路双远心光学系统设计》


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式中,Sx为相机横向分辨率;Zw为物方视场;U为光学精度[4]。将光学精度0.02 mm,物方视场20 mm代入公式,可得相机的横向分辨率最小为2 000,所以选择维视公司MV-EM510C型号的像元数为2456×2 058的2/3英寸CCD相机,所选CCD具体参数如表1所示。