《表1:46#炉真空系统:浅谈真空炉真空系统检查及操作要点》

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《浅谈真空炉真空系统检查及操作要点》


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真空系统中的泄漏发生在真空设备外壁中的孔或孔隙或者在接缝处(焊缝,真空法兰等),例如:由于材料或工艺故障或者密封元件不正确的处理而引起泄漏等。