《表1 ASTM电子级用水标准》

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《电解铜箔清洗液回收利用技术》

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（3） 精密过滤器。精密过滤器是在DA863过滤器之后的又一保护性过滤装置，一般是以不锈钢材质进行外壳制作，以精密滤芯作为滤元，来对一些直径较小的悬浮杂质进行二次过滤，并且对清洗液进行更深层次的净化和柔软，尽可能的防止后续过程中，因杂质太多所导致的元件损伤。