《表1 样品编号及元素间原子比》

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《共掺浓度对Na-Al共掺杂ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响》

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采用溶胶-凝胶法制备不同掺杂比例的Na-Al共掺杂ZnO薄膜（NAZO）。首先，以乙醇作为溶剂，二水合乙酸锌作为锌源，乙醇胺作为稳定剂（乙醇胺摩尔质量与Zn2+的摩尔质量相同），加入硝酸铝和氯化钠进行掺杂，配制成浓度为0.75mol/L的均匀溶液。然后，放入60℃的恒温水浴锅中加热搅拌1.5h，将配置好的溶液陈化5天后形成溶胶。将石英玻璃按照半导体工艺清洗干净，作为衬底。用台式匀胶机进行旋涂，转速为3000r/min，共旋涂6层，每涂一层都将其放在恒温加热台上300℃下干燥15min。最后，在空气中，将制备好的样品放入快速退火炉中进行退火处理，退火温度为650℃，退火时间为1.5h。样品编号及元素间原子比如表1所示。