《表1 RTO操作步骤：HAZOP分析在RTO安全控制中的应用》

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《HAZOP分析在RTO安全控制中的应用》

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目前，在国内应用广泛、工艺技术较为成熟的蓄热式热氧化炉（RTO）主要为三室RTO（RTO工艺流程图见图1），即RTO分为三个蓄热室，其中蓄热室填充床为耐热、耐腐蚀的陶瓷材料填充，确保RTO热回收率在95%以上，以便更好的净化去除VOCs。其工作原理是使生产过程中产生的VOCs（浓度小于25%LEL）在800℃以上发生氧化反应，使其氧化生成二氧化碳（CO2）和水（H2O）；假如VOCs中含有卤素、硫等杂原子的有机物，则会氧化生成氯化氢（HCl）、二氧化硫（SO2）等气体。首先废气通过管道经RTO进口阀进入第1个蓄热填充床发生氧化反应燃烧分解，经燃烧室充分燃烧后的高温净化气体通过第3个蓄热填充床被冷却后，部分冷却净化气体吹扫第2个蓄热填充床，部分冷却净化气体经RTO引风机进入尾气吸收系统，喷淋吸收后达标排放至大气环境，三个蓄热填充床依次经历加热（氧化分解）、冷却、吹扫等三个步骤，通过RTO进口阀、出口阀、吹扫阀自动切换，周而复始，循环操作。（具体循环操作见表1）。