《光电子材料及应用的某些进展》

目录1

第一章 Ⅲ-Ⅴ族半导体材料及其在器件中的应用1

第一节 概述1

第二节 Ⅲ-Ⅴ族材料及性能简介3

一．二元Ⅲ-Ⅴ族材料4

二．三元Ⅲ-Ⅴ族材料11

三．四元Ⅲ-Ⅴ族材料21

第三节 Ⅲ-Ⅴ族化合物器件27

一．异质结激光二极管和发光二极管27

二．负电子亲和势（NEA）器件38

三．Ⅲ-Ⅴ族材料（GaAs）在场效应晶体管中的应用44

第二章 半导体材料的异质外延47

第一节 半导体材料的异质外延技术50

第二节 异质外延GaAs膜的特性58

第三节 异质外延材料在器件方面的应用69

第三章 电子材料制备中的OMCVD技术73

第一节 OMCVD技术的一般特点73

第二节 OMCVD生长过程及其参数控制80

第三节 对于源的讨论85

第四章 等离子体技术在电子材料合成与加工中的应用88

第一节 等离子体技术简介88

第二节 应用等离子体技术的两个实例93

一．无定形硅太阳能电池93

二．干法腐蚀技术104

参考文献111