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一 轴沟道149

目录上册第一章 引言第二章 带电粒子在原子为无序分布物质中的运动第三章 离子束分析固态材料的组分和结构第四章 溅射物理第五章 带电粒子在晶体中的沟道效应第六章 沟道效应和阻塞效应的应用下册第七章 离子注入及其应用621

§7.1 注入离子的射程和射程分布理论624

一 射程概念和射程的均方偏差625

二 射程分布的统计理论630

三 投影射程641

四 低速重离子在固体中的射程648

五 注入离子在非晶靶的浓度分布654

六 单晶靶中的射程分布678

§7.2 辐射增强扩散效应689

一 增强扩散的基本概念689

二 增强扩散的类型694

三 增强扩散机理698

四 多元扩散模型705

五 增强扩散效应的应用713

§7.3 注入离子在晶格中的位置719

一 半导体中注入离子的位置720

二 缺陷的移动和定位725

§7.4 离子注入层的电学性质727

一 离子注入机的概念和类型735

§7.5 离子注入系统735

二 弱流和中等流强注入机737

三 强流注入机740

四 离子注入设备的物理限制744

五 离子注入机的在线控制753

§7.6 离子注入器件的应用759

一 平面扩散工艺和离子注入法759

二 全离子注入晶体管的电参量控制766

三 离子注入MOS场效应晶体管773

四 离子注入制备集成电路中的高值电阻777

五 离子注入在硅加工中的发展780

§7.7 离子注入化合物半导体787

一 离子注入化合物半导体的特点和化学配比787

二 退火保护问题792

三 大规模高速集成电路的制备和离子注入化合物半导体(GaAs)器件797

§7.8 离子注入对金属的改性800

一 金属中离子注入的特点和物理因素801

二 离子注入表面的力学性质804

三 提高金属表面抗腐蚀能力815

§7.9 离子注入超导体的研究821

一 超导电性和超导临界温度822

二 离子注入对超导临界温度Tc的影响824

三 注入金属氢化物的超导性和超导体中氢的作用826

§7.10 离子注入合金的穆斯堡尔研究833

一 内转换电子穆斯堡尔测量833

二 磨损改善的机理——N+或C+注入铁835

三 扩散的影响837

四 磨损前后相的变化——锡注入铁838

附录 射程计算机程序841

参考文献855

§8.1 能量淀积和损伤分布861

第八章 辐照损伤861

一 离子注入产生的缺陷862

二 级联碰撞和原子位移870

三 能量淀积的WSS理论876

四 矩方程及其求解881

五 “高能”离子在固体中能量淀积的“直接法”897

六 沟道作用和聚焦作用905

七 损伤及损伤分布913

§8.2 缺陷的迁移和退火923

一 缺陷迁移速率和聚集923

二 热退火927

三 激光退火935

四 电子束退火946

§8.3 金属中的辐射损伤950

一 辐射缺陷的产生及其相互作用951

二 金属玻璃辐射损伤的特性962

一 超精细相互作用967

§8.4 超精细相互作用和缺陷967

二 扰动角关联和穆斯堡尔效应969

三 辐射缺陷的研究975

四 缺陷-反缺陷反应981

五 133Xe注入金属形成空位簇982

§8.5 辐射对有机物质的作用985

一 聚合物的辐射交联和降解986

二 辐射交联的机理990

三 固态有机材料的辐射损伤995

四 辐照剂量率和温度效应1000

§8.6 电子自旋共振(ESR)对极低温(4K)下聚合物辐射损伤的研究1003

一 电子自旋共振和基浓度的测量1003

二 辐照对基在空间分布的影响1011

三 氢原子迁移的减弱1014

四 极低温度(4K)下氢原子的反应率1014

§8.7 重离子轰击固态生物体产生自由基1016

一 室温下自由基的产生1016

二 低温下(77K)自由基的产生1027

三 “热钉扎”模型及其检验1028

§8.8 正电子洇灭研究辐照损伤1033

一 正电子洇灭的物理基础和实验技术1033

二 捕获模型和金属中的辐照损伤1045

三 电子辐照钼的损伤及退火效应1048

四 辐照聚四氟乙烯的正电子寿命谱的分析1055

附录Ⅰ 三维碰撞级联1058

附录Ⅱ 矩积分1059

附录Ⅲ 捕获模型1061

参考文献1067

第九章 离子束引起原子混合1072

§9.1 薄膜系统中离子引起的反应1072

一 离子感生反应的特点1073

二 硅化物和金属间化合物1078

三 热退火引起的相互混合1080

四 金属固熔体的形成1083

§9.2 碰撞混合的理论1089

一 原子位置重排截面1091

二 基体原子重排及多次重排1095

三 各向同性的级联混合1097

四 多次反冲注入1101

五 含有铂标记层硅中的离子束混合1103

§9.3 离子束混合机理的实验研究1109

一 长程混合和短程混合1109

二 化学效应对混合率的影响1115

三 原子混合率的温度关联1118

§9.4 界面反应和原子混合的唯象模型1119

一 原子的重排和反应1120

二 扩散控制和反应控制的界面反应1122

三 扩散混合与碰撞混合的统一描述1125

§9.5 离子束混合的应用1128

一 离子束混合在一些物理过程中的作用1128

二 离子束混合用于材料改性1128

三 离子束混合微合金1130

附录Ⅰ 方程(9.2-19)和(9.2-20)的推导1131

附录Ⅱ 级联混合的随机走动模型1133

参考文献1134

第十章 沟道辐射1137

§10.1 带电轻粒子在晶格沟道中运动的特点1137

一 横向运动方程1138

二 相互作用势和束缚态1143

§10.2 沟道辐射谱学1149

二 平面沟道1154

§10.3 实验安排1162

§10.4 沟道辐射与其他几种辐射的比较1165

一 相干轫致辐射1165

二 跃迁辐射1167

三 同步辐射1168

§10.5 沟道辐射的应用前景1168

参考文献1169

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