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第一章 高纯水与半导体工艺1

1-1 水中的杂质2

1-2 高纯水中的杂质对半导体工艺的影响4

1-3 高纯水中的杂质对半导体材料和器件性能的影响7

第二章 高纯水制备中的预处理20

2-1 微粒沉降理论22

2-2 凝聚、助凝与澄清24

2-3 过滤及深层过滤28

2-4 吸附30

2-5 反渗透前的预处理36

2-6 脱气40

第三章 反渗透和电渗析脱盐43

3-1 反渗透43

3-2 电渗析69

4-1 离子交换树脂的结构81

第四章 离子交换树脂的脱盐81

4-2 离子交换树脂的分类87

4-3 离子交换树脂的基本交换特性88

4-4 离子交换树脂的反应速率100

4-5 离子交换法纯化水102

第五章 离子交换树脂的再生108

5-1 离子交换树脂和再生剂的选择109

5-2 离子交换树脂的失效与再生114

5-3 混床离子交换树脂的再生157

5-4 离子交换树脂的中毒污染及其复苏162

5-5 离子交换树脂的再生装置和工艺流程166

第六章 精处理175

6-1 紫外灯杀菌175

6-2 超过滤186

6-3 微孔精过滤196

6-4 纯水制备工艺中材质的污染及选择198

6-5 纯水制造的工艺流程208

第七章 高纯水的分析221

7-1 水质分析的意义221

7-2 分析方法的选择和评价224

7-3 分析数据的处理和评价230

7-4 硅的测定236

7-5 氯离子的测定245

7-6 Cl-,F-,NO?,SO?及HPO？等阴离子的测定247

7-7 金属元素的测定251

7-8 有机物的测定265

7-9 颗粒的测定274

7-10 细菌的测定284

7-11 高纯水电阻率的测定288

7-12 水样的采集和储存294

8-1 原水分析303

第八章 原水、离子交换树脂和脱盐率的分析303

8-2 离子交换树脂的分析332

8-3 除盐工序(或设备)脱盐率的分析350

第九章 水站的质量管理356

9-1 水站质量管理基础356

9-2 纯水制造的水质监控360

9-3 水站的数据及其处理372

第十章 质量管理工具在水站的应用383

10-1 直方图383

10-2 控制力392

10-3 排列图411

10-4 因果图412

10-5 关联图414

10-6 系统图415

附录418

参考文献448