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第一章现代传感器概论1

第一节 传感器的基本概念1

一、传感器发展概述1

二、传感器的物理含义2

三、传感器的组成与分类2

第二节 传感器的一般特性5

一、传感器的静态特性5

二、传感器动态特性的数学模型与响应函数9

第三节 机电类传感器简述12

一、电阻式传感器12

二、电感式传感器19

三、电容式传感器23

四、涡流式传感器27

五、压电式传感器29

六、磁电式传感器36

七、霍尔传感器38

第四节 现代传感器的发展40

一、现代传感器的性能要求40

二、传感器的发展过程41

三、现代光学传感器43

第二章特殊的光学传感器——光探测器47

第一节 外光电效应型光电探测器47

一、光电管47

二、光电倍增管49

第二节 内光电效应型光电探测器51

一、半导体器件的物理基础52

二、光电导型光传感器55

三、光伏效应型光探测器58

四、半导体光磁电红外探测器69

第三节 热电型辐射探测器69

一、热电偶辐射探测器70

二、热敏电阻71

三、热释电效应探测器72

第四节 一维与二维光电探测器75

一、光电二极管及光电三极管阵列探测器75

二、电荷耦合器件及图像传感器80

三、红外区的二维传感器(红外热像传感器)91

四、光电位置敏感器件93

第三章现代光学传感器的信号检测技术107

第一节 光波强度信号的直接检测技术108

一、光波(场)的参量与特性108

二、光探测器的性能参数109

三、光源的稳定性及背景光等的消除115

四、相关检测和锁相放大技术124

五、差动技术128

第二节 强度调制探测光束的位相检测129

第三节 光外差探测技术132

一、光外差的基本原理132

二、信噪比134

第四节 光波的相位检测技术136

一、光波相位的检测原理136

二、位相型光学传感器——光学干涉仪139

第四章光束(或光波)传感器147

第一节 光强型传感器147

一、透射光强传感器147

二、散射型光学传感器148

第二节 多普勒速度传感原理与技术161

一、多普勒测速原理161

二、多普勒频移的外差检测163

三、多普勒测速传感原理的应用167

一、光学定位系统的构成原理和应用169

第三节 目标跟踪识别传感器——激光雷达169

二、激光定位系统的核心单元——激光测距仪171

三、激光测距仪和二维图像传感器的信息融合179

四、激光扫描三维成像雷达179

第五章光纤传感原理与技术189

第一节 光纤的特性及基本理论190

一、光纤的特性及传感器设计对光纤的要求190

二、光纤波导的导光原理192

三、光纤波导的传输特性200

四、几种主要光纤波导201

五、光纤的激励204

六、光纤元件的连接206

七、光纤耦合器207

第二节 光纤传感器工作原理与分类211

一、光纤传感器的分类与特点211

二、强度调制光纤传感器212

三、调相光纤传感器216

第三节 光纤传感器的应用227

一、光纤压力(声压)传感器227

二、光纤磁传感器229

三、光纤电流电压传感器232

四、光纤电磁传感器234

五、光纤分光(光谱)传感器235

六、光纤温度传感器238

七、光纤图像传感器240

第六章传感器的应用243

第一节 位移传感器的应用243

一、电阻式传感器的应用243

二、电容式位移传感器的应用244

三、电感式位移传感器的应用246

四、光栅数字式传感器的应用257

五、激光干涉数字传感器263

第二节 温度传感器的应用265

一、热电阻266

二、热敏电阻267

三、热电偶269

四、PN结温度传感器272

五、其它温度传感器274

第三节 激光光谱测温技术276

一、拉曼散射测温技术276

二、激光感生荧光测温技术282

三、光声光偏转测温技术285

四、相干反斯托克斯拉曼光谱(CARS)测温技术288

第四节 半导体气敏传感器及应用299

一、半导体气敏传感器的机理299

二、半导体气敏传感器的结构300

三、半导体气敏传感器的应用302

第五节 半导体湿敏传感器及应用306

一、MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏传感器件307

二、四氧化三铁(Fe3O4)湿敏传感器307

三、半导体湿敏传感器的应用308

第六节 半导体色敏器件及应用310

一、测色原理310

二、半导体色敏器件的工作原理312

三、半导体色敏器件的应用313

第七节 新型传感器及应用315

一、仿生传感器及应用316

二、超导传感器及应用323

三、生物分子传感器及应用330

参考文献337

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