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X光多层膜反射镜的损伤与破坏淳于书泰谷渝秋 尤永禄 黄文忠 何颍玲 马月英 裴舒 营健林1

摘要1

引言3

1关于X光多层膜反射镜4

2在XRL双程放大实验中X光多层膜反射镜的破坏4

2.1国产Mo/SiX光多层膜反射镜的破坏阈值6

2.2X光本底对X光多层膜反射结构的影响7

2.3温度对X光多层膜反射镜结构的影响9

3结束语10

参考文献11

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