《中国核科技报告 CJ-500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制》求取 ⇩

CJ—500型磁控溅射多弧两用镀膜机的研制曾洪银(核工业西南物理研究院,乐山,614007)1

摘要1

引言3

1镀膜机结构及特点3

2主要技术参数6

3运行结果与讨论7

参考文献8

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