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第一章 绪论1

1.1 纳米尺度的定义1

1.2 纳米科技的提出2

1.3 纳米科学与技术的重要意义及其发展4

第二章 纳米机械学与微型机械8

2.1 概述8

2.2 微型机械研究的一些主要方向10

2.2.1 微型机械零件10

2.2.2 微型电机10

2.2.3 纳米尺度定位马达12

2.2.4 微型泵和微型阀14

2.2.5 传感器15

2.2.6 微能源16

2.2.7 超精度测量17

2.3 微机械的基础工艺和理论17

2.4 微机械的应用18

2.5 微机器人及其应用20

2.6 展望23

第三章 纳米电子学26

3.1 半导体纳米级结构27

3.2 纳米级结构的制备29

3.2.1 光学光刻29

3.2.2 电子束光刻30

3.2.3 离子束技术30

3.2.4 SPM方法31

3.2.5 直接生长方法31

3.3 纳米级结构中的电子输运32

3.3.1 量子线33

3.3.2 人造原子与量子点34

3.3.3 共振隧道二极管35

3.3.4 分子电子器件37

3.4 纳米级结构的光学性质38

3.5 纳米级结构的应用前景39

第四章 纳米材料学42

4.1 纳米材料42

4.2 纳米材料的制备43

4.3 纳米材料的优异性能44

4.4 纳米材料研究的一些前沿课题46

第五章 纳米生物学49

5.1 纳米生物学概念的提出49

5.2 纳米生物学领域的初步成果51

5.2.1 纳米化工厂51

5.2.2 生物传感器51

5.2.3 生物分子计算机元件51

5.2.4 生物分子计算机52

5.2.5 生物分子纳米机器人52

5.2.6 纳米分子马达52

第六章 纳米化学54

6.1 大分子的合成及组装55

6.2 碳60分子56

6.2.1 碳60的发现57

6.2.2 超导新军58

6.2.3 化学新部落60

6.2.4 天外来客62

第七章 扫描探针显微镜63

7.1 与隧道效应有关的显微镜64

7.1.1 扫描隧道显微镜64

7.1.2 扫描噪声显微镜75

7.1.3 扫描隧道电位仪76

7.1.4 弹道电子发射显微镜76

7.2 扫描力显微镜77

7.2.1 原子力显微镜77

7.2.2 其它扫描力显微镜80

7.2.3 扫描力显微镜的应用80

7.3 扫描离子电导显微镜82

7.4 扫描热显微镜83

7.5 光子扫描隧道显微镜84

第八章 纳米级尺度上的表面加工86

8.1 概述86

8.2 STM对表面的直接刻写88

8.2.1 在金属表面的刻写89

8.2.2 在半导体表面的刻写93

8.3 在抗蚀膜表面上的加工98

8.4 在溶液和气相环境中的加工101

8.4.1 在溶液中加工102

8.4.2 在气相环境下加工103

8.5 操纵原子和分子104

8.5.1 操纵单个原子105

8.5.2 操纵分子和原子簇112

8.6 用其它扫描探针显微镜的加工114

8.6.1 在薄膜上的加工114

8.6.2 电荷存贮115

8.6.3 磁结构以及在界面上的刻写116

8.7 展望117

后记119

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