本书以实例的形式，介绍了用磁控溅射法制备氧化锌(ZnO)薄膜、氮化铝(AlN)薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章，主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用，ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段，ZnO薄膜、AlN薄膜、ZnO/AlN复合膜的制备方法与性能表征，不同溅射时间下AlN缓冲层对ZnO薄膜的影响，退火温度对N掺杂ZnO薄膜的影响等内容。

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