《多弧离子镀沉积过程的计算机模拟》高清PDF
作者: 赵时璐著
出版: 北京:冶金工业出版社
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出版时间: 2013.04 (求助前请核对清楚)
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本书系统介绍了多弧离子镀沉积过程的计算机模拟研究。全书共分13章:第1章为绪论部分;第2章为真空镀膜技术的介绍;第3章为多弧离子镀沉积过程模拟的理论基础;第4章为多弧离子镀物理过程的分析;第5章为计算机模拟技术部分;第6章为数学模型的建立;第7章为程序的编制部分;第8~11章为模拟的结果部分;第12章为模拟结果的讨论与验证部分;第13章为6个模块的主要程序代码部分。
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